精密研磨拋光系統(tǒng)DL系列是 Logitech 具有創(chuàng)新性的加工解決方案，是其最新高度自動(dòng)化的智能樣品制備系統(tǒng)。該系統(tǒng)提供對(duì) Logitech 智能氣動(dòng)夾具的動(dòng)態(tài)負(fù)載控制，能夠在廣泛的半導(dǎo)體應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)快速、可靠且高度精確的結(jié)果。

*的自動(dòng)化顯著減少了設(shè)置和清理時(shí)間，而集成的軟件則提供了一個(gè)用戶友好的平臺(tái)，具有精確、可控的加工功能。Logitech 的智能氣動(dòng)夾具利用氣壓對(duì)夾頭施加高達(dá) 40 千克的下壓力，并能達(dá)到高達(dá) 100 轉(zhuǎn)/分鐘的旋轉(zhuǎn)速度，確保在整個(gè)過程中實(shí)現(xiàn)優(yōu)良的樣品加載效果。這些特性能夠滿足即便是最為苛刻的應(yīng)用程序的需求。

精密研磨拋光系統(tǒng)有兩種配置可供選擇：DL81 型，配備單個(gè)工作站；DL82 型，配備兩個(gè)工作站。獨(dú)立系統(tǒng)，配備直徑為 600/700 毫米的板子。可同時(shí)運(yùn)行最多兩個(gè)精密氣動(dòng)夾具，以處理大型單個(gè)樣本或多個(gè)較小樣本。夾具固定樣本的最大尺寸可達(dá) 8 英寸/200 毫米，或自由研磨樣本的最大尺寸可達(dá) 12 英寸/300 毫米。

電動(dòng)研磨夾具，能夠?qū)崿F(xiàn)高幾何精度和在整個(gè)過程中保持樣本的穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)，從而獲得出色的且可重復(fù)的晶圓均勻性。

精密氣動(dòng)夾具具有集成的卡盤下壓力校準(zhǔn)系統(tǒng)和自動(dòng)夾具提升臂，可將夾具安裝在和從板子上升起，并將其翻轉(zhuǎn)以使卡盤面朝上，以便操作人員進(jìn)行樣本處理。該夾具可以編程為在達(dá)到目標(biāo)去除量時(shí)自動(dòng)升起——從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作并防止過度加工。材料去除率（MRR）可以被監(jiān)測(cè)和控制到微米級(jí)別的精度。原位板厚度監(jiān)測(cè)器將評(píng)估并控制板的狀態(tài)。處理中。國際認(rèn)可的 EtherCAT 協(xié)議被用于實(shí)現(xiàn)與主要驅(qū)動(dòng)單元的通信，以確定對(duì)機(jī)器監(jiān)控和診斷有用的參數(shù)，同時(shí)一個(gè)工業(yè)交通燈塔會(huì)提供機(jī)器狀態(tài)警報(bào)。最多可容納四個(gè)氣缸，用于多階段加工。增加的容量為 3.8 升的氣缸意味著更長、不間斷的加工過程，可用于研磨和拋光漿液。通過蠕動(dòng)泵計(jì)量的磨料供給單元，允許操作人員設(shè)置每分鐘 5 至 100 毫升的流量。這極大地提高了結(jié)果的質(zhì)量和準(zhǔn)確性，同時(shí)減少了浪費(fèi)和運(yùn)營成本。該系統(tǒng)是封閉且密封，帶有排氣口（直徑 150 毫米），允許安裝提取連接以處理諸如鎵砷化物（GaAs）或銦磷化物（InP）等危險(xiǎn)材料。配備有維修吊車，以便安全、輕松地搬運(yùn)研磨和拋光板。它可以從地面提升到工作區(qū)域，最大提升重量可達(dá) 200 千克，伸展距離為 380 毫米。通過系統(tǒng)的圖形用戶界面（GUI）對(duì)過程參數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)分析和控制，包括磨料供給。15 英寸顯示屏及觸摸屏用戶界面。該模式允許操作人員創(chuàng)建、保存和調(diào)用多階段工藝配方，確保每個(gè)工藝過程都能重復(fù)，即使在不同的操作人員操作下也是如此。該集成的 Logiwaste 系統(tǒng)能夠高效地處理泥漿廢料。重沉淀池與滴水盤密封連接，以防止氣體逸出，其連接方式便于拆卸和移除以便進(jìn)行處理。重沉淀池與中間沉淀池和液體儲(chǔ)罐相連。