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聚焦核心技術:化學機械拋光設備關鍵組成部件及其功能特點介紹
20269-4

半導體與精密晶圓加工中,平整化處理是保障芯片制程精度的關鍵工序。化學機械拋光設備結合化學腐蝕與機械研磨原理,實現工件表面超平整加工。熟悉設備各單元結構與作用,可規范使用化學機械拋光設備,有效提升工件拋光品質與工藝穩定性。1、拋光工作臺組件工作臺是工件拋光的承載基礎,臺面搭載專用拋光墊,表面紋理均勻,可貼合工件完成均勻研磨。工作臺運行轉速平穩,可根據工藝需求調節運轉速度,保證工件各區域拋光力度一致。...

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  • Logitech公司50多年來一直專注于高精密設備的設計和制造,具有豐富的復雜材料加工處理經驗。Logitech精密研磨拋光系統在半導體晶圓表面處理、晶圓減薄(背減)和形狀控制方面提供大量的技術解決方案。選擇Logitech,我們的專家團隊...

    2018-07-12

  • 磷化銦(InP)是由銦(In)和磷(P)組成的二元半導體,屬于一組通常稱為III-V半導體的材料。與硅和砷化鎵等更常見的半導體相比,磷化銦具有*的電子速度,常用于制造高功率和高頻率電子器件。磷化銦晶圓加工磷化銦具有與砷化鎵GaAs和大多數I...

    2018-06-19

  • 藍寶石晶圓研磨拋光技術在現代半導體和光電子行業中扮演著重要的角色。藍寶石晶圓作為一種優質的襯底材料,廣泛應用于LED、激光器、光電傳感器等高科技領域。而藍寶石晶圓的研磨拋光工藝則是制備高質量藍寶石襯底的關鍵步驟之一。研磨拋光是通過機械摩擦和...

    2018-06-06

  • 砷化鎵(galliumarsenide),化學式GaAs。黑灰色固體,熔點1238℃。它在600℃以下,能在空氣中穩定存在,并且不被非氧化性的酸侵蝕。砷化鎵是一種重要的半導體材料,屬Ⅲ-Ⅴ族化合物半導體。砷化鎵晶圓的用途各不相同,主要用于一...

    2018-05-30

  • SerConANCASL/GSL/Integra同位素質譜儀預填充反應管-還原管使用我們預填充管可以為您節省時間和金錢:1、直接更換,減少儀器停機時間2、無需測量或處理化學試劑,避免遺撒浪費,避免直接接觸化學試劑3、高質量試劑,標準化制備,...

    2018-04-23

  • PM6型精密研磨拋光系統是英國Logitech公司推向市場,應用于眾多半導體領域的自動型研磨拋光系統。PM6投入市場后被很多專業用戶普遍應用,受到廣泛贊譽,其中不乏從事有線電視寬帶(CATV)、光纖到戶(FTH)及互聯網數據等光纖產品及服務...

    2018-02-26

  • Logitech一直與世界*大學合作,始終致力于在不同的應用領域提供高精度的系統解決方案。我們需要的是高質量的、強健的系統,這些系統能夠提供*的結果,并使zui大化。了解我們的客戶的研究和發現:下載我們的客戶案例,通過對系統和工藝過程的研究...

    2017-12-14

  • “第三代半導體青年”評選活動,是為了營造青年人才成長的環境,提升*三代半導體產業技術創新能力,在第三代半導體產業技術創新戰略聯盟青年創新促進委員會在科技部人才中心的指導下成功舉辦。首屆啟動“第三代半導體創新青年”評選通知發出后,得到了領域內...

    2017-09-21

  • 穩定同位素質譜儀一次進樣實現CHNS的同位素比分析,球閥進樣設計,利用氦氣吹掃功能,實現零空白進樣(標準配置);三吸附柱于動態吸附-解吸附CO2、N2、SO2、H2O,實現基線分離,均為單獨流路設計,無交叉污染;是真正瞬間燃燒+*燃燒,確保...

    2017-07-24

  • 穩定同位素質譜儀按物質原子、分子或分子碎片的質量差異進行分離和檢測物質組成的一類儀器。質譜儀按應用范圍分為同位素質譜儀、無機質譜儀和有機質譜儀。按分辨本領分為高分辨、中分辨和低分辨質譜儀,穩定同位素質譜儀按工作原理分為靜態儀器和動態儀器。被...

    2017-03-07

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